国林科技董秘回复：选用高浓度、超纯洁、深度精密工艺的臭氧完成技能是该发生器完成的根底

  国林科技(300786)09月18日在出资者联络平台上答复了出资者关怀的问题。

  出资者：请问公司旗下半导体公司官网显现的电子级超纯臭氧发生器的首要使用在哪？

  国林科技董秘：敬重的出资者，您好。选用高浓度、超纯洁、深度精密工艺的臭氧完成技能是该发生器完成的根底，可以发生高浓度、很多流量、高压力的超洁净臭氧。臭氧可被电子工业用于构成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物成长、光刻胶去除和多种清洁使用。感谢您的重视。

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